シートろう付による水冷ヒートシンク

1.シートろう付による水冷ヒートシンクについて
シートろう付は、従来より行われている一般的な接合技術です。水冷のヒートシンクでも抜群の性能と高い信頼性により広く用いられるようになり、ドリル穴やパイプろう付のものに取って変わりつつあります。水路を自由に設定することができて、冷却能力においてドリル穴のものに比べ2～3倍、圧力損失は数分の1に押さえられます。

2.シートろう付による製法
水路を彫り込んだCu板と蓋にAg板を挟入して水素炉、又は真空炉に通します。ろう付は毛細管現象による為接合面だけでなく、面取りを施した水路の全周がシーリングされ、万全な水密性が確保されます。（下図参照）

3.製作・納入実績
当社では1992年より重電設備を始め、半導体製造装置、レーザー機器、化学プラント等用として数十万個以上を納入しております。大きさは最小のもので10×20ミリ程度、最大のもので350×700ミリ程度です。形状としては水路長数メートルのものや、数百箇所ものタップを有するものも製作しております。

4.品質・検査
ユーザーが最も心配されるのは水漏れかと思われます。当社では部品の洗浄や接合面の精度など接合に関わる工程には細心の注意を払っております。又、漏れ試験は全数について実施しており、現在までのところ製品レベルでの水漏れは一度もございません。